Misuratore di potenza RF per un preciso controllo

Il Tegam Gemini 5540A raggiunge una precisione di due sigma di +/-0,5% + 0,5 W per misurazioni e controlli precisi della potenza RF in linea. Integrando un sensore di potenza e un misuratore in un unico strumento, il Gemini 5540A misura a frequenze da 0,2 MHz a 200 MHz e potenza da 3 W a 5000 W. Solo 6,1 × 2,8 × 2,5 pollici, questa unità integrata di Tegam, ora parte di Advanced Energy, sostituisce più strumenti in un’ampia gamma di applicazioni nei mercati dei semiconduttori, delle comunicazioni, industriale e medico.

“Nei processi dei semiconduttori impegnativi come l’incisione al plasma ad alto rapporto di aspetto (HAR), il controllo preciso e l’adattamento da camera a camera del sistema RF hanno un impatto diretto sulle prestazioni del processo”, ha affermato Gerry Blumenstock, vicepresidente, prodotti di rilevamento e controllo critici presso Advanced Energy . “Con il nuovo GEMINI 5540A, gli OEM possono calibrare accuratamente il sistema e monitorare la potenza RF in tempo reale, migliorando la fedeltà e la coerenza dei processi all’avanguardia basati sul plasma”.

Il Gemini 5540A ha un display digitale OLED che mostra simultaneamente potenza in avanti e indietro, VSWR e frequenza. Rileva automaticamente la frequenza senza necessità di riconfigurazione per le misurazioni della potenza diretta e inversa. Lo strumento è alimentato tramite una porta USB 2.0 standard, una batteria esterna o una presa di corrente CA utilizzando un adattatore USB standard. La calibrazione è garantita per 12 mesi.

Il misuratore di potenza RF GEMINI 5540A è disponibile con una varietà di tipi di connettori. Il software di visualizzazione dati Gemini Tools può essere utilizzato per connettere, visualizzare e raccogliere dati da un massimo di cinque contatori contemporaneamente. L’applicazione Gemini Tools può essere scaricata gratuitamente.

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